北京科创鼎新真空技术有限公司

北京硅片除气装置-硅片除气装置多少钱-北京科创真空公司

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  • 主营产品:氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
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真空除气炉的构成介绍

真空测量装置:采用复合真空计,使测量更加准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。


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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气储存柜设备用途 

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理;X射线管高真空除气。


真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。